摘要:提高钛合金表面耐磨耐腐蚀性能是钛合金表面改性的主要研究方向,双阴极等离子溅射沉积技术具有沉积薄膜速度快,厚度容易控制等特点,在涂层制备方面被广泛应用。文章介绍了双阴极等离子溅射沉积技术的主要原理及特点,并综述了最近几年利用该技术制备涂层用于TC4表面改性方面的一些研究成果以及对未来研究方向做了一些展望。
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