摘要：以LaNiO2做缓冲层,用射频磁控溅射法在SiO2/Si（100）衬底上制备出0.9Pb（Sc（1/2）Ta（1/2））O 3-0.1PbTiO 3/0.65Pb（Mg（1/2）Nb（2/3））O3-0.35PbTiO3铁电多层薄膜。采用两步法在峰值温度650℃和700℃对薄膜进行退火。通过电滞回线和漏电流曲线对薄膜的铁电性能进行了测量。研究发现,650℃退火的薄膜有较好的铁电性,其剩余极化2Pr9.5μc/cm^2,矫顽场2Ec=42.2 kV/cm,100 kV/cm场强下漏电流密度为31μA/cm^2。700℃退火的薄膜铁电性有所下降,2P,=3.1μc/cm^2,但薄膜却具有很低的矫顽场,2Ec=22.6 kV/cm。分析认为,铁电性的退化与高温下薄膜中异质结间的相互作用及挥发性元素Pb和Mg的损失密切相关。

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