摘要：内容简介:“先进制造科学与技术丛书”的首本。本书讨论的主题是微机电系统(MEMS)这一前沿交叉学科。作者对MEMS技术的主要方面:结构、材料、工艺、设计、测量等进行了系统的论述,并随之对MEMS的典型应用进行了分类介绍,为读者勾勒出当前微机电系统的发展全貌。作为对主体内容的补充和延伸,纳机电系统(NEMS)和石墨烯在本书的结尾部分被予以专门讨论。

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社