摘要：开展了空气环境下皮秒超短脉冲激光烧蚀不锈钢微孔的实验研究,探索了多种激光加工参数对烧蚀微孔尺寸的影响。实验结果表明,孔径和孔深均表现为随激光能量密度的增加先增加后趋于饱和态,其中,临界能量密度时可获得最深的孔,即具有最大的能量利用率;短波长烧蚀可以获得更小的孔径和更深的孔深,即短波长在大深径比微孔加工中具有明显的优势;存在临界重复频率使得孔径最大,孔深最深;焦面处烧蚀孔径最小且孔深最深。

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