首页 期刊 机械工程与自动化 基于ANSYS Workbench的铜质研磨盘热结构耦合分析 【正文】

基于ANSYS Workbench的铜质研磨盘热结构耦合分析

作者:宋放; 周海; 韦嘉辉; 吴宇航; 孙亮 安徽理工大学机械工程学院; 安徽淮南232000; 盐城工学院机械优集学院; 江苏盐城224000
研磨盘   氧化镓   热变形   热结构耦合   ansys  

摘要:在研磨氧化镓晶片时,由于铜质研磨盘的导热系数和热膨胀率较大,因此研磨盘各个部位的热变形量也会因为温度的不同而不同。通常在加工前需要对研磨盘加工时的变形量进行预测,并对研磨盘表面进行平面补偿。选取了3组不同补偿角的研磨盘,基于ANSYS Workbench对它们分别进行瞬态热结构耦合分析。结果表明:当补偿角为0.003°时铜盘补偿效果最好。该方法为不同研磨工况下研磨盘补偿角的选定提供了参考。

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