摘要：设计了一款高精度可编程工业电子显微镜平台,其具有X、Y、Z三个自由度,由步进电机驱动,以STC89C52为核心控制器件。该平台可以通过USB口或串口与上位机通讯,具有30个点的坐标存储功能和自动寻位功能,利用设计好的指令集上位机可以控制下位机运行的位置和速度。该平台具有良好的扩展性,既可以满足实际检测运行精度需求,又具有较低的成本。

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