摘要：在现有理论的基础上，设计出一种新型的AFM工作台扫描控制电路。介绍了该电路的设计思想。与现有的AFM控制系统相比，X、Y方向的运动采用闭环控制，提高了控制精度。文中还介绍了一种简单实用的PI调节电路，该电路具有结构简单、成本低、功耗小和控制精度高等优点。
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