首页 期刊 机械工程材料 射频空心阴极等离子体放电气体分布的有限元模拟 【正文】

射频空心阴极等离子体放电气体分布的有限元模拟

作者:温贻芳 陈闯 芮延年 王红卫 苏州工业职业技术学院 苏州215104 苏州大学 苏州215021 苏州市奥普斯等离子体科技有限公司 苏州215000
射频空心阴极等离子体   放电气体分布   有限元模拟  

摘要:为了得到较为优化的射频空心阴极等离子体放电参数,提高放电气体分布的均匀性,以改善材料表面改性的均匀性,构建了射频空心阴极等离子体放电气体流动的数学模型,应用Flu—ent软件对放电气体分布进行有限元模拟,得出了较为优化的放电参数;另选择一组放电参数对电池隔膜进行表面改性试验,通过测试电池隔膜的最大吸碱量,得出较优的放电参数。结果表明:试验优选放电参数和模拟所得出的优选放电参数较为吻合,证明了有限元模拟的可行性与实用性;得出的较优放电参数是阳极孔径为8mm,进气流量为5L·min-1,试样距离为20mm。

注:因版权方要求,不能公开全文,如需全文,请咨询杂志社

学术咨询 免费咨询 杂志订阅