摘要：采用双阴极等离子溅射技术在TC4合金表面制备了MoSi2和Mo（SiAl）2涂层，并在500℃的空气中进行了不同时间的等温氧化，研究了铝元素对MoSi2涂层抗氧化性能的影响。结果表明：两种涂层均由扩散层和沉积层组成，两者的厚度分别约为8，20μm，涂层致密，并与基体紧密结合；随着氧化时间的延长，Mo（SiAl）2涂层的氧化质量增加缓慢，且明显小于MoSi2涂层的；MoSi2涂层在500℃下氧化5h后表面生成了板条状M003，氧化100h后出现“PEST”现象，涂层表面出现大量裂纹；Mo（SiAl）2涂层氧化30h后，表面生成了A1203、Si02、M003，氧化100h后表面完好且未出现明显的裂纹；铝元素的添加提高了MoSi2涂层的抗氧化性能。

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