首页 期刊 机械工程材料 TiAlN基薄膜的研究进展 【正文】

TiAlN基薄膜的研究进展

作者:张海平 王守仁 郭培全 济南大学机械工程学院 济南250022
tialn   薄膜   纳米多层膜   纳米复合膜  

摘要:综述了TiAlN薄膜、TiAlN纳米多层膜、TiAlN纳米复合薄膜的研究进展,主要介绍了3种薄膜的硬度、摩擦磨损等性能,并对影响其性能的因素进行了分析,提出了薄膜制备所存在的问题,最后对其今后的发展做了展望。

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