首页 期刊 机械工程材料 反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究进展 【正文】

反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究进展

作者:蒋芳 杨勇 黄政仁 中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程研究中心 上海200050 中国科学院研究生院 北京100049
sic   表面改性   反射镜  

摘要:综述了反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究现状,重点介绍了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)制备SiC涂层和硅涂层的优缺点及制备机理,并讨论了SiC陶瓷光学部件表面改性今后的发展方向。

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