摘要:综述了反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究现状,重点介绍了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)制备SiC涂层和硅涂层的优缺点及制备机理,并讨论了SiC陶瓷光学部件表面改性今后的发展方向。
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