摘要：利用非平衡磁控溅射技术在17—4PH不锈钢表面分别制备了Ti02膜、Ti02／Ti多层膜及TiO2／Ti／TiN／Ti多层膜，采用XRD、表面轮廓仪、显微硬度仪、摩擦磨损试验机和水蒸气疲劳腐蚀试验设备研究了薄膜的物相、显微硬度、耐磨性和耐疲劳腐蚀性能。结果表明：具有表面薄膜17—4PH不锈钢的硬度、耐磨性和耐腐蚀性能均有较大提高；与Ti02膜和TiO2／Ti／TiN／Ti多层膜相比，TiO2／Ti多层膜耐磨性能最好，较基体的提高了20倍以上，同时其耐疲劳腐蚀性能也最好。

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