摘要：采用直流磁控溅射法制备氮化铬涂层，研究了氮流量比对涂层相结构、表面形貌和硬度和涂层结合力的影响。结果表明：当氮流量比在30％～100％变化时，涂层主要由CrN相构成；随氮流量比增加，涂层晶粒形貌由三角锥转变为三角锥与球状共存，涂层变得致密，硬度得到提高；氮流量比对涂层结合力影响不大。

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