摘要：以乙酰丙酮铝为前驱体，N，N-二甲基甲酰胺为溶剂，采用静电辅助的气溶胶化学气相沉积（ESAVD）方法，在Si（100）衬底上制备了Al2O3薄膜，并采用场发射扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪和自动划痕仪等设备对制备的薄膜进行了表征。结果表明：采用ESAVD法制备的Al2O3薄膜平整致密而且晶粒细小，薄膜与基体之间及薄膜内部都未出现开裂现象；薄膜与基体的结合力约为5．56N；沉积得到的薄膜为化学计量比为2：3的氧化物薄膜；退火前的薄膜为非晶态，在1200℃退火保温2h后薄膜转变为α-Al2O3。

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