摘要：中科院理化技术研究所承担的院仪器研制项目“纳米光子学超细微加工系统”近日通过中科院综合计划局组织的专家验收。现场加工测试结果表明，所研制的纳米光子学超细微加工系统最小加工分辨率小于80nm，加工定位精度达到10nm，最大加工范围达到560μm，具备了良好的三维加工能力。
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