首页 期刊 机械工程材料 PⅢ方法制备的TiN膜的性能 【正文】

PⅢ方法制备的TiN膜的性能

作者:王钧石 西南交通大学材料科学与工程学院,四川成都610031
等离子体浸没式离子注入   tin膜   显微硬度   摩擦性能  

摘要:用一种新型的等离子体浸没式离子注入技术(PⅢ),在Cr12MoV钢基体上制备了TiN膜,经XPS分析发现,膜中的组织为TiN、TiO2和Ti2O3。对有与无TiN膜的Cr12MoV钢试样进行对比,测定了维氏硬度,耐磨性以及磨痕。结果表明:TiN膜具有高的硬度和优良的抗摩擦性能。

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