摘要：以厚度0.1mm的1Cr18Ni9Ti不锈钢箔片为载体,在工作真空0.9Pa,O2、Ar分压比1∶6,基体温度270～280℃的条件下,用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜, 并在420℃的氧气氛下进行热处理.XRD分析可见薄膜为TiO2锐钛矿和金红石复合晶型.测算表明TiO2复合晶中锐钛矿质量分数约64%,其晶粒尺寸约14nm.用"弯曲法"测试表明,膜基结合力强.由对气相甲醛降解试验可见,制备的TiO2薄膜具有较好的光催化活性.随着对纳米TiO2光催化特性研究的深入,如何使其尽早在有机废水处理和空气净化方面得到应用,目前已成为研究人员的主要努力方向.由于粉状纳米TiO2易于团聚、回收难度大,特别难以直接用于空气净化,影响了其推广与使用.负载技术是解决纳米TiO2光催化剂实用化的关键,因此成为目前研究的热点 [1-3].纳米TiO2光催化剂负载技术的研究涉及两个方面,即载体的选择和纳米TiO2薄膜的制备.关于载体的选择,国内外已有大量报道,主要从考虑载

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