摘要：用电子探针和能谱仪对电热元件用陶瓷发热材料碳化硅(SiC)使用后不同部位的组织和成分进行了对比分析.对使用200h热端SiC晶粒表面形貌进行了观察,发现在气孔较大处有晶须长出,晶须的主要成分为SiO2.对SiC颗粒尺寸进行了测量,发现其大小符合正态分布.
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