摘要：基于实验室条件下模拟CSP工艺低温生产取向硅钢,通过辉光光谱分析和TEM分析,对低温取向硅钢渗氮工艺进行研究。结果表明,随着渗氮时间的延长、渗氮温度的上升或渗氮气氛中NH3浓度的增加,试样中的氮含量均随之增加。基于辉光光谱对试样中元素的分布分析,发现渗氮后试样中氮含量有所增加,氮进入试样中首先在表面聚集达到一定浓度后,再向内部扩散,其含量随渗氮距离的增加逐渐趋于平稳。900℃渗氮后,由于渗入的N跟Al形成AlN析出相并且相互合并聚拢,因此渗氮后较渗氮前析出相的数量变多,同时出现析出相团聚现象。

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