摘要：随着微型机械的应用领域进一步拓展,微细机械制造加工技术得到了快速发展。在介绍了微细切削加工、微细电火花加工、微细蚀刻以及微细电解加工的基础上,对其加工特点和性能进行了比较,讨论了微细机械加工发展的方向与关键问题。
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