摘要：总结了薄膜应力的一些测量方法.将经常使用的方法归纳为激光宏观变形分析法和X射线分析法.介绍了利用测量基片弯曲曲率的激光宏观变形分析法(包括激光干涉法和激光束偏转法)和晶格变形的X射线衍射法等测量薄膜应力的理论依据及其测量原理,计算了各种测量方法的测量精度,X射线分析法的精度最高,其次是激光干涉法,而激光束偏转法的精度最低,分析了激光分析法和X射线分析法的优缺点.

注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社