摘要：为提高金刚石工具的锋利度和加工效率,延长其使用寿命,采用低温烧结的方法对金刚石颗粒表面进行多刃化处理。使用扫描电镜照片和质量损失率对不同烧结工艺的金刚石颗粒多刃化效果进行表征,并进行了碳化硅晶片研磨试验。结果表明:金刚石颗粒多刃化处理的最佳烧结工艺为:烧结温度750℃,烧结时间480 min,期间通10 kPa氧气2次,每次通气2 min,通气间隔2 h。在此条件下可获得大小适中,凹坑分布均匀的多刃化金刚石颗粒表面。碳化硅晶片研磨试验证明:多刃化金刚石颗粒与常规金刚石颗粒相比,材料去除率可提高1.1倍,研磨后晶片表面粗糙度R a约为常规金刚石颗粒的24%,多刃化处理可显著提高金刚石颗粒研磨碳化硅晶片的抛光效率和精度。

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