摘要：为提高划片机的划片质量和划片效率,研制全自动双轴精密划片机。整机采用了龙门式结构,工具轴Y1与Y2采用并列平行的结构设计,使用全闭环控制;旋转工作台采用DD马达直接驱动;上下料系统可实现多盘的全自动上下料。检测结果表明:Y1Y/2轴的全程定位精度达到1.5μm,Z1/Z2轴的重复定位精度达到1.0μm,工作台平面度达到4.3μm。划切试验结果表明:划切沟槽的实际深度与设计深度的最大误差为5.2μm,划切痕迹的实际位置与设计位置的最大误差为4.8μm,划切表面平整光滑,崩边小,无毛刺。与国内传统的单轴划片机相比,所研制的双轴划片机划片效率提高了80%,划片质量得到了明显提高。

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