摘要：湿式清洗机是集成电路制造的关键装备,具有强腐蚀性的内部作业环境、运行性能要求高等特点,这对其搬运系统的设计提出了较高的要求。根据湿式清洗机和直角坐标式机械臂的特点,提出了基于丝杠和齿轮齿条为驱动结构的机械臂精度设计方案;对机械臂上主要机械部件的规格和安装调试方案进行了详细设计;使用了模块化的安装基板在4 m以上的行程情况下实现了较高的行走精度。通过在无尘室内的安装调试,验证了该精度设计方案的可行性。

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