摘要：CenTurio是一套高效湿法工艺系统，并配备有CenTurioDry干法工具和极其有效的清洗系统。该系统可用于大部分衬底材料的一般刻蚀和／或清洁工艺。
注：因版权方要求，不能公开全文，如需全文，请咨询杂志社
热门期刊服务
影响因子：0.13
期刊级别：部级期刊
发行周期：月刊
期刊在线咨询，1-3天快速下单！
查看更多>
超1000杂志，价格优惠，正版保障！
一站式期刊推荐服务，客服一对一跟踪服务！
