摘要：近红外光电探测具有许多应用，如光纤通信、安全以及热成像等．虽然Ⅲ-Ⅴ族化合物半导体的光学性能比硅基材料的优越，但是硅基材料由于暗电流小及能够与硅集成电路工艺兼容，有希望制作出价格低廉的小型、高度集成的光学系统。
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