摘要：采用射频磁控溅射法制备纳米TiO2薄膜，并应用显微拉曼光谱和电子显微镜对薄膜进行微区光分析．通过拉曼光谱研究，一方面有力地揭示出TiO2薄膜的晶体结构，另一方面对薄膜的生长方式提供了线索．薄膜聚集点和平常点上有统一的相结构，电子显微镜观察结果显示薄膜致密均匀．

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