首页 期刊 化工新型材料 ZnO薄膜的本征缺陷、p型掺杂及其新型功能器件 【正文】

ZnO薄膜的本征缺陷、p型掺杂及其新型功能器件

作者:陈心满; 伍广亨; 周洪; 赵灵智; 牛巧莉 华南师范大学光电子材料与技术研究所; 广州510563; 中山大学物理科学与工程技术学院; 广州510275; 上海师范大学数理学院; 上海200234
zno   本征缺陷   p型电导   功能器件  

摘要:ZnO是一种宽禁带半导体材料(3.37eV),具有较高的激子结合能(60meV),室温下激子仍然存在。由于其结构特点及优异的光电性能,ZnO在微电子学、光电子学、集成光学和微电子机械系统等高技术领域有着广阔的应用前景,在国内外引起极大的关注。但本征的ZnO呈n型电导,p型ZnO的获得因较强的自补偿效应,存在较大困难,限制了其应用水平。针对ZnO目前的研究、就其本征缺陷、p型掺杂以及新型功能器件等方面做一简要评述。

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