摘要：多晶硅系统主要包括还原、冷氢化、精馏和还原尾气回收四部分,还原是将氢气与三氯氢硅在还原炉硅芯发热体表面上沉积、生长多晶硅,冷氢化是将四氯化硅与硅粉、氢气在流化床反应器中转化成三氯氢硅。在还原炉和流化床反应器中均产生副产物二氯二氢硅,需要将副产物二氯二氢硅和四氯化硅反歧化反应转化为对多晶硅有益的三氯氢硅。文章从流程、设备、运行费用、运行稳定性等方面对多晶硅二氯二氢硅反应精馏和固定床反应器进行了技术经济对比,为多晶硅设计提供技术参考。

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