摘要：传统辐照总剂量试验的辐射源均采用60Co,对环境危害较大.X射线作为辐射源具有安全、剂量率控制准确等优点,可进行硅片级的测试甚至在线测试,从而大大降低封装、测试、运输的成本,提高研发效率.从辐射机理和辐射对栅氧化层影响的角度深入地论证了用10keV X射线代替60Co作为总剂量试验辐射源的可行性.

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