首页 期刊 河北省科学院学报 CVD金刚石膜沉积设备的稳流控制电路 【正文】

CVD金刚石膜沉积设备的稳流控制电路

作者:杨卫正; 王少岩; 吴晓波; 胡红彦; 刁习刚; 郭辉 河北省激光研究所,河北石家庄050081
磁饱和电抗器   稳流   sg3524   igbt  

摘要:研制了DCP PLASMA JET CVD金刚石膜沉积设备电源的稳流控制电路。该电路利用负反馈原理,通过SG3524调节输出脉冲的占空比,推动IGBT,为磁饱和电抗器提供控制电流,达到电源稳定输出电流的目的。

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