【免费】微面形貌观测物镜的光学系统误差分析-发表之家

微面形貌观测物镜的光学系统误差分析

作者：宋霄; 刘娜; 井文才; 贾大功; 张红霞; 张以谟天津大学精密仪器与光电子工程学院; 天津300072; 天津大学光电信息技术科学教育部重点实验室; 天津300072

微面形貌观测物镜光学系统装配误差分辨率

摘要：提出了一种非接触内窥式微面形貌探测镜,分析了其光学系统的装配误差对实际成像位置的影响.利用几何光学原理,计算了三种装配误差与实际成像位移之间的关系.给出了满足CCD成像分辨率要求的位置调整范围,推导出透镜的装配误差范围,达到成像清晰、系统分辨率高的目的.

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