首页 期刊 光子学报 干涉仪胶合和准确度分析 【正文】

干涉仪胶合和准确度分析

作者:李霞; 赵建科; 袁艳; 张健 中国科学院西安光学精密机械研究所; 西安710119; 中国科学院研究生院; 北京100039; 北京航天航空大学; 北京100038
sagnac干涉仪   胶合   平行光管   准确度分析  

摘要:介绍了Sagnac型干涉仪错位量与成像光谱仪极限光谱分辨率的数学关系.在干涉仪胶合过程中,以波长为543.5nm的激光器做为单色光源,利用带有十字丝目标的平行光管、标准镜头(焦距为50.1mm)、CCD(像元大小为9μm)探测器组成测试系统,来确定两块半五角棱镜胶合时的错位量.利用波长为632.8nm的激光器做为单色光源,对整个成像光谱仪的分辨率进行检测,证明采用的干涉仪胶合方法可以保证胶合产生的剪切量满足光谱分辨率的要求.对于影响胶合错位量的因素进行了分析,计算了干涉仪的胶合准确度,得出影响干涉仪胶合错位量的主要因素是读数准确度.

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