摘要:FSI国际有限公司(纳斯达克:FSI)今日宣布:在2005财年第三季度中,来自欧洲、亚太地区、日本以及美国的领先集成电路制造商对于ANTARES超凝态过冷动力学清洗系统的需求十分强劲。传统上用于后段(BEOL)缺陷去除的ANTARES系统,随着客户将90nm器件技术应用批量生产而得到了更广泛的应用。
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