摘要：KLA-Tencor （NASDAQ：KLAC）宣布正式推出了业界最新的叠对计量解决方案，Archer AIM＋系统．该系统专门用于满足芯片制造商对65纳米节点以下的光刻叠对控制要求。Archer AIM＋基于作为业界基准的Archer加工平台，与KLATencor的上一代Archer AIM系统相比．叠对计量性能的关键指标总的测量不确定性（TMU）降低了5O％．同时加工生产能力提高了20％。目前，Archer AIM＋正进行高级应用评估，并且几家尖端晶圆代工厂已将其选择作为光刻加工工具。

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