首页 期刊 光学与光电技术 轮廓仪在柱面镜检测中的应用 【正文】

轮廓仪在柱面镜检测中的应用

作者:程子清; 袁顺山 华中光电技术研究所; 湖北武汉430073
柱面镜   轮廓仪   检测   检测误差  

摘要:目前柱面镜检测的主要方法是样板比较法和干涉法。样板法对球面、柱面样板均有较高要求,而干涉法也需合适的高要求的辅助镜,并且对环境要求较严格。提出了用轮廓仪配用合适工装检测柱面镜的方法,该方法简洁、直观、快速,对环境要求较低。分析了该方法的检测误差,实验验证了分析的正确性,指出高精度轮廓仪在一定范围内能保证柱面镜的检测精度。这种方法不仅适用于零件的最终检测,也适用于加工过程中的检测。

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