杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
作者：陈宜方 刊期：2017年第11期
综述了国内外在纳米加工X射线衍射光学透镜方面的研究现状和最新进展。介绍了作者团队过去三年在这方面做的工作。针对衍射透镜关键技术，研发了具有大高宽比形貌的电子束光刻基础工艺；结合金电镀，提出了纳米尺度波带片的制造技术，并将该工艺成功扩展于分辨率板(Siemensstar)和集成光栅型会聚透镜的研制。运用蒙特卡罗模拟和显影动力学，探索...
作者：齐润泽; 黄秋实; 杨洋; 张众; 王占山 刊期：2017年第11期
针对增强型X射线时变与偏振探测卫星（eXTP)项目中嵌套式聚焦成像望远镜对柱面镜片上W/Si多层膜的要求，在掠人射角为0.5°工作波段为1~30keV条件下，设计了非周期W/Si多层膜并优化了薄膜制备工艺。首先，利用分隔板和掩模板对溅射粒子进行准直，同时优化了本底真空度和溅射工作气压，提升了薄膜的成膜质量；然后，通过调整分隔板间距和公转速率...
作者：李海亮; 史丽娜; 牛洁斌; 王冠亚; 谢常青 刊期：2017年第11期
为得到同步辐射光源硬X射线波段(>2keV)需要的高宽比高分辨率波带片，本文利用高加速电压（100kV)电子束光刻配合Si3N4镂空薄膜直写来减少背散射的方法，对硬X射线波带片制作技术进行了蒙特卡洛模拟和电子束光刻实验。模拟结果显示：Si3N4镂空薄膜衬底可以有效降低电子在抗蚀剂中传播时的背散射，进而改善高密度大高宽比容易引起的结构倒塌和粘...
作者：陈家华; 龚学鹏; 薛松; 卢启鹏; 彭忠琦; 宋源; 王依 刊期：2017年第11期
研制了光发射电子显微镜（PEEM)高精度微聚焦系统，以实现上海光源软X射线PEEM光束线的高质量聚焦。根据上海光源PEEM光束线的概况，给出微聚焦系统光学元件的基本参数。基于Kirkparick-Ba旡(KB镜）两镜方案，设计了PEEM线微聚焦系统。介绍了KB镜姿态调整机构的设计方案，即利用三垂直线性驱动装置和两水平线性驱动装置相结合来实现五维调节，分...
作者：刘静; 伊福廷; 盛伟繁; 常广才; 张伟伟 刊期：2017年第11期
为提高硬X射线聚焦元件的聚焦性能，利用LIGA(Iihographie，Galvanofomiung，Abfomiung)技术，制备了深度为60μm的聚甲基丙烯酸甲醋（PMMA)材质硬X射线组合Kinafom透镜(CKL），并获得了良好的面形。制备的CKL以宽度为几个微米的细窄线条为主要结构，包括曲面和直角面形，线条最窄宽度为2μm。为保证CKL良好的曲面及直角结构，样品制备分为三部分:...
作者：王风丽; 张壮壮; 王占山; 周洪军; 霍同林 刊期：2017年第11期
由于A1膜的保护层MgF2薄膜的光学常数对Al/MgF2高反射镜的性能有极大的影响，本文研究了获取Al/MgF2薄膜光学常数的方法。用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF2厚度的A1/MgF2反射镜样品，通过掠入射X射线小角反射方法表征样品，获得了膜层厚度和粗糙度。在国家同步辐射实验中心计量站测试了人射角为5°时，样品在105~130nm波段的反...
作者：唐波; 黑东炜; 马戈; 盛亮; 周海生; 刘旭; 夏惊涛; 罗剑辉; 魏福利 刊期：2017年第11期
开展了轻气炮加载条件下材料动力学微观响应测量的实验研究。基于脉冲宽度约25ns的商业化闪光X射线源，采用积分式记录设备，建立了轻气炮加载条件下的实时X射线衍射诊断系统。介绍了实时X射线衍射测量原理及系统，讨论了由于冲击过程持续时间短，且闪光源输出X射线脉冲时具有延时和抖动，X射线脉冲与冲击波到达样品被探测区域难以同步的问题。...
作者：宋源; 卢启鹏; 龚学鹏; 王依; 彭忠琦 刊期：2017年第11期
针对极紫外（EUV)光刻机工作过程中，多层膜反射镜表面沉积碳污染造成的反射率下降问题展开研究，讨论了多层膜反射镜表面碳污染清洗方法。首先描述了在EUV曝光过程中多层膜表面的碳污染形成过程，简单阐述了碳污染对多层膜反射镜的危害。然后从清洗机理、速率以及效果等方面详细描述了多种EUV多层膜表面碳污染清洗方法，分析对比了各清洗技术在...
作者：李华鹏; 郑伟宁; 赵屹东; 王培玮; 李凡 刊期：2017年第11期
在北京同步辐射光源上使用自由空气电离室绝对测量了同步辐射硬X射线光子通量。通过自由空气电离室复现空气比释动能率量值,根据在电离辐射量及其单位中定义的空气比释动能与注量及通量的关系,定量得到了光子通量。由于在测量期间,光子通量随时间变化,而测量需要一定的时间,因此,研究了配套的在线通量监测系统,监测带来的不确定度为0.03%。通过...
作者：张强强; 魏来; 杨祖华; 陈勇; 范全平; 巫殷忠; 曹磊峰 刊期：2017年第11期
为满足“神光Ⅱ”升级激光装置实验的激光等离子体高空间分辨和窄带宽的精密成像诊断需求,本文研究球面弯晶单色成像技术,并对其进行优化设计及实验验证。首先,使用光线追迹方法分析了成像像距、布拉格角、背光源尺寸等成像系统参数对球面弯晶成像性能的影响,分析了设计参数的变化对成像空间分辨能力的影响,并在X射线管上开展了测试验证实验。研...
作者：张众; 靳鑫; 李文斌; 黄秋实; 王占山 刊期：2017年第11期
NiC/Ti中子超镜是一种高性能的中子多层膜光学元件,是提升中子导管、聚焦装置等中子光学系统的中子利用率的关键之一。为了提升NiC/Ti中子超镜的性能,本文面向具有不同厚度NiC膜层的NiC/Ti多层膜,分别采用X射线掠入射反射和X射线衍射的方法表征了NiC/Ti多层膜的膜层厚度、界面粗糙度和膜层晶向结构。研究结果表明:随着NiC膜层厚度的增长,除了在...
作者：陆波; 王于仨; 杨彦佶; 崔苇苇; 陈勇 刊期：2017年第11期
根据CCD的工作特点,采用曝光控制和多帧图像叠合技术,研制了基于CCD和CsI闪烁体的硬X射线成像探测器,以提高对硬X射线的探测效率。搭建了实验平台,以微加工技术制作的镍准直器为成像目标进行了实验验证。实验中,利用55Fe放射源对CCD进行直接成像;然后利用241Am放射源同时对CCD和硬X射线成像探测器分别进行直接成像和间接成像。最后,对图像中出现...
作者：王亚冰; 朱玉; 孙天希; 孙学鹏; 刘志国; 李坊佐; 姜博文; 张晓芸; 张丰收 刊期：2017年第11期
为了正确表征X射线光源参数,本文利用单次全反射椭球单玻璃管X射线聚焦镜,设计了一种测量X射线光源焦斑尺寸和焦深的方法。该方法利用椭球单玻璃管X射线聚焦镜具有单次全反射成像能力的特点,对多个已知焦斑尺寸的多毛细管X光透镜模拟光源的焦斑成像尺寸和椭球聚焦镜的面形误差进行表征,从而确定光源焦斑尺寸和经过椭球聚焦镜后的焦斑成像尺寸以...
作者：隋国荣; 朱泽玮; 王颖; 贾星伟; 单新治 刊期：2017年第11期
针对上海光源X射线吸收精细结构光谱仪对灵敏度和分辨率的要求，研制了三晶体多轴同步辐射X射线荧光光谱仪。其采用一台双晶单色器提供实验X射线，用3块凹面晶体构成系统主体色散结构，并在竖直平面内组成相交的罗兰圆实现荧光分析，可实现10°范围内的布拉格角变化。光谱仪通过高精度控制驱动设备使位移平台实现了3块晶体的4轴联动和总台的2轴联...
作者：杨立保; 李艳红; 伞晓刚; 王晶; 史国权 刊期：2017年第11期
对典型的光电跟踪系统进行结构分析，提出了改善机械结构谐振频率的方法，以便提高光电跟踪系统的跟踪速度。研究了典型跟踪架的垂直轴系的结构，认为单向止推轴系沿轴向的窜动限制了扭转刚度。提出了以双向止推密珠轴系结合定心轴系的结构形式设计垂直轴系，从而有效地提高了系统的刚度，改善了系统的机械谐振频率。对改进后的跟踪架进行了模态...
影响因子：0.65
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