杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
作者：杨旺 黄玮 尚红波 刊期：2016年第03期
为使光刻投影物镜满足光刻工艺的要求,研究了掩模位置误差对光刻投影物镜引入的畸变。采用勒让德多项式描述光刻投影物镜的畸变,并应用勒让德多项式对光刻投影物镜进行了畸变分析及畸变补偿。利用以上方法,对一台工作波长为193 nm,数值孔径（NA）为0.75的光刻投影物镜进行了畸变分析。结果显示：当掩模面3个方向的平移公差为1.0μm,绕3个轴的转动...
作者：宋志平 殷雨豪 张明辉 洪津 刊期：2016年第03期
研制了一种结构简单、稳定性好的可见光波段可调偏振度光源,用来验证偏振光谱强度调制（PSIM）实验系统设计的正确性。该光源内部安装有两块K9玻璃组成的玻璃片堆,通过改变玻璃片堆的倾角来调整输出的部分偏振光的偏振度。理论推导了二者的关系,得到了可调偏振度源输出光的偏振度计算方法。根据PSIM系统的实现原理,搭建了验证PSIM性能的实验装置...
作者：刘志祥 邢廷文 蒋亚东 吕保斌 刊期：2016年第03期
设计了基于振幅型棋盘光栅的二维剪切干涉仪,用于测量大数值孔径（NA）物镜的波像差。研究了棋盘光栅剪切干涉仪的基本原理,分析了大数值孔径物镜波像差测量时涉及的几个特殊问题。首先,根据棋盘光栅的远场衍射函数分析了棋盘光栅的衍射效率和衍射级分布,给出了剪切干涉图数据的处理方法。接着,根据球面光瞳坐标与平面探测器坐标的投影关系,分析...
作者：卞洁玉 猪狩真一 周泓 周健 小久保順一 刘毓成 刘正新 刊期：2016年第03期
基于国际电工委员会（IEC）国际标准分析了引起标准太阳电池量值传递误差的因素及其与国际标准的一致性。随机选取我国市场上销售的6种封装标准太阳电池,测量了它们的温度特性、光谱响应特性和表面反射特性。结果表明：电池的封装结构影响它们的冷却效果及温度的正确测量,从而导致温度和短路电流的不稳定性,其变异系数最高可达0.12%和0.04%。另...
作者：肖泽锋 杨永强 宋长辉 郑潇剑 余家阔 刊期：2016年第03期
研究了激光选区烧结（SLS）成型工艺中不同工艺参数以及后续热处理工艺对超高分子量聚乙烯（UHMWPE）材料成型性能的影响。通过调整扫描间距、激光功率、扫描速度等不同工艺参数,描述了SLS成型UHMWPE零件的致密度、拉伸强度以及断裂伸长率,并对热处理前后的SLS成型UHMWPE零件的力学性能进行了比较。结果显示,致密度、拉伸强度、断裂伸长率总体上...
作者：孟遥 张国玉 孙高飞 刘石 刊期：2016年第03期
针对基于硅基液晶（LCOS）拼接技术的动态星模拟器对比度低,无法在星图识别过程中为星敏感器提供全部有效目标的问题,提出通过抑制光学系统杂散光来提高LCOS拼接动态星模拟器对比度的方法,讨论了偏振度对于杂散光的影响,并推导出入射角与偏振度的函数关系。设计了抑制杂散光的光学系统,该系统包括利用复合抛物面聚光器（CPC）结合望远系统组成照...
作者：位恒政 王为农 裴丽梅 郑庆国 刊期：2016年第03期
设计了一种薄环规标准器,用于配有光学影像测头和接触式测头的多传感器坐标测量机的探测误差评价。该标准器兼有环规和二维平面标准圆的特征,孔的有效部分厚度为0.1 mm,圆度为0.5μm,可以满足大多数坐标测量机的校准需求,避免了普通标准器如标准球、环规对影像测头测量成像的影响。该标准器同时适用于接触式测头测量,锥孔结构保证了标准器的稳定...
作者：黄刘 聂伟荣 王晓锋 沈腾 刊期：2016年第03期
基于微连通器结构,提出了一种使用盐水（Na Cl溶液）作为工作流体且具有高的抗过载能力的微流体惯性开关。分析了液滴的分离机理,设计了开关的流道结构。然后,对开关进行了理论分析,建立了开关模型。最后,利用流体动力学仿真和样机实验相结合的方法,对开关结构和功能进行了验证。验证结果显示：在幅值为30 000 g阶跃型加速度作用下,开关的工作流...
作者：刘恩辰 张洪朋 吴瑜 付洪发 孙玉清 陈海泉 刊期：2016年第03期
为提高平面电感式微流控检测芯片的检测精度,研究了油样过流速度与信号幅值大小的关系。介绍了电感式微流控检测芯片的检测原理,理论分析了油样过流速度对检测信号幅值产生的影响并进行了公式推导,然后采用控制变量法对其进行了实验验证。选用粒径在80-85μm之间的铁颗粒作为待测颗粒,将油样的过流速度分别设定为0.02-0.10ml/min进行了实验。结果...
作者：卢文壮 杨斌 冯伟 杨旭 蔡文俊 刊期：2016年第03期
通过热丝化学气相沉积（HFCVD）法制备了具有球状晶结构、棱锥形晶结构和棱柱形晶结构等3种不同表面特征的化学气相沉积（CVD）金刚石涂层工具,以提高其研磨效率。通过正交实验法研究了金刚石涂层晶粒形态、载荷、工作台转速、研磨时间等4个工艺参数对蓝宝石材料去除率和表面粗糙度的影响。结果表明：金刚石涂层的晶粒形态对材料去除率和表面粗...
作者：褚金奎 李双亮 张然 刊期：2016年第03期
考虑获知SU-8胶的光弹性性能有利于拓展其在微纳米领域中的应用范围,本文设计了材料应力光学系数显微测量光路,完成了SU-8胶应力光学系数的测量实验。首先,基于光弹性原理设计了测量光路,推导了求解应力光学系数的计算公式;然后,根据所设计的光路搭建了应力光学系数显微测量实验装置,在SU-8胶试样光弹性条纹的单个半级数范围内进行了单向拉伸实...
作者：吴小霞 郝亮 邵亮 徐伟 刊期：2016年第03期
弯月薄镜在侧向均匀承重和弯月薄镜在采用侧向均匀承重和等间距竖直推拉侧向支撑方式时,等间距竖直推拉侧向支撑方式时,会产生明显的弯曲变形问题。为消除附加弯矩带来的镜面变形,本文分析了弯月薄镜的结构特点,提出了适用于弯月薄镜的等角间距推一拉一剪切和不等角间距推一拉一剪切两种侧向支撑方式。通过在侧向支撑上增加轴向剪切平衡作用力分...
作者：肖文健 马东玺 张勇 陈志斌 刊期：2016年第03期
针对大型装备装配过程中的大尺寸空间角测量问题,提出一种基于惯性基准的大尺寸空间角测量方法并且设计了相应的测量系统。该测量系统利用自准直原理获取被测轴线方向,通过内部陀螺仪和编码器测量被测轴线在惯性坐标系中的单位向量坐标,然后根据每个被测轴线在公共基准内的单位向量坐标值实现空间角的计算。建立了大尺寸空间角测量的数学模型,并...
作者：杨灿 曹泽卫 尹晓红 阚君武 程光明 李熹平 刊期：2016年第03期
为进一步提高聚合物复合材料热导率,采用多尺度数值预测法研究了微注塑聚酰胺/碳纤维（PA66/CFs）散热器内部CF的流动诱导取向及其对制品热导率的影响规律。首先,利用Moldflow获取CF取向张量,并以Comsol Multiphysics构建与之对应的复合材料微元胞。利用正交实验法研究熔体温度、模具温度、最大注射压力及注射流率对微散热器热导率的影响。然后,...
作者：王延东 张涛 杨春雷 马经纬 刊期：2016年第03期
针对微机电系统（MEMS）陀螺存在的非线性、非平稳噪声,提出了应用经验模态分解/高阶统计（EMD-HOS）的降噪方法对MEMS陀螺进行降噪。首先,采集MEMS陀螺输出信号,根据EMD算法将信号分解成本征模态函数（IMF）。采用Bootstrap技术分别估计各IMF的峰度值,进行高斯特性检验,滤除高斯IMF。接着,使用方差聚合法分别计算IMF的Hurst指数,根据Hurst指数...
影响因子：0.65
期刊级别：北大期刊
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期刊级别：北大期刊
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期刊级别：北大期刊
发行周期：月刊
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发行周期：旬刊
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发行周期：半月刊
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期刊级别：北大期刊
发行周期：月刊
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期刊级别：部级期刊
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期刊级别：省级期刊
发行周期：月刊
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期刊级别：省级期刊
发行周期：月刊
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期刊级别：省级期刊
发行周期：双月刊