杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
作者：赵猛 邹继斌 尚静 齐明 刊期：2009年第06期
行波磁场的产生、泵体结构的设计、磁性流体的动力学特性是磁性流体行波泵研究的关键技术。本文根据行波磁场产生的形式设计了直线型磁性流体行波泵，采用解耦计算分析和求解了磁性流体内行波磁场和力场的耦合问题，通过仿真和实验研究验证了设计的合理性和可行性。结果表明，行波磁场作用下的磁性流体流量与磁场的强度有直接关系：在磁性流体行...
作者：汤小川 张宇峰 苑振宇 王喜莲 刘晓为 刊期：2009年第06期
分别以硅和不锈钢材料为极板研制了两种结构简单、体积小、比能量密度高的微型直接甲醇燃料电池，并介绍了该电池的工作原理和结构。利用光刻、溅射和腐蚀等MEMS技术完成了硅基微型直接甲醇燃料电池的制作，实验测试表明，在室温条件下，使用1．5mol／L甲醇溶液供液时其开路输出电压为520mV，最大输出功率密度达到5．9mW／cm^2；利用非硅微加工...
作者：郝晓辉 徐立新 崔占忠 陈曦 刊期：2009年第06期
引信可以利用空中目标运动产生的静电场信息对目标进行探测，而MEMS的特殊性能非常适合于引信静电探测器的设计。在引信有限的体积内布设MEMS静电探测阵列，通过对目标静电场信息进行检测，可以获得目标的位置和速度信息。本文运用表面加工工艺设计了一种MEMS薄膜电极的垂直振动式电场传感器阵列。介绍了该电场传感器探测单元及阵列的结构、组成...
作者：谭晓昀 周贤中 姜一鸣 陈伟平 刊期：2009年第06期
对SigmaDelta调制与脉冲编码调制进行对比，研究了SigmaDelta调制与脉冲编码调制的优缺点。建立了微加速度计中两位输出的SigmaDelta调制和两位输出的脉冲编码调制的仿真系统。然后，对比使用这两种调制方式的微加速度计的加速度信号，并分析在两种不同调制方式下的输出信号波形的差别。最后，利用周期图法得到了两种调制信号的功率谱密度图，发...
作者：朱秋耀 廖小平 刊期：2009年第06期
针对现有的微波功率测量都基于热电偶和二极管等终端器件，功率信号在被检测后无法利用的问题，设计了一个基于微机电（MEMS）射频（RF）并联开关在Ku波段（12．4～18GHz）应用的微波功率耦合器，包括等效电路、共面波导（CPW）匹配的设计和结构仿真。该耦合器是MEMS微波功率传感器的核心，它利用MEMS膜桥耦合CPW上的微波功率信号，大部分功率信...
作者：王小章 王朝晖 蒋庄德 刊期：2009年第06期
电渗流通过外加电场来驱动液体通过微小通道，同时由于焦耳热效应的存在，也会在流体及通道表面形成热传导现象。应用计算流体力学方法，对矩形发散形微通道内电渗流流动所产生的流场、温度场进行了数值模拟和研究。由于流体的介电常数、电导率、粘性、热导率等属性依赖于温度的变化，焦耳热效应产生的温度场会改变流体的多种属性，并进而影响到...
作者：黄闯 陈迪 陈翔 刘景全 朱军 魏雯婕 魏泽勇 李宏强 刊期：2009年第06期
为了实现微机电系统微波信号滤波，开发了适用于微机电系统的小尺寸左右手复合传输线微波带阻滤波器，对该滤波器的原理、结构特点、加工工艺等进行了研究。根据左手材料理论，介绍了具有蛇形槽单元的滤波器结构。以蛇形槽结构的一个单元为例，对比传统插指电容左手单元结构，提取了蛇形槽的等效电路，并分析了蛇形槽结构单元的优点，即在相同的...
作者：莫绍孟 陈剑鸣 吴光敏 赵建军 刊期：2009年第06期
计算了四层复合结构的薄膜体声波谐振器（FBAR）的输入阻抗谱，各层采用的材料分别是Al／AlN／Al／Si，其尺寸为0．8μm／1．9μm／0．8μm／100μm，得出其有效机电耦合系数k^2eff随谐振模式的分布情况，从而得到最大k^2eff的独特谐振模式在1～2GHz为第40阶谐振模式。从理论上探讨了各层的尺寸及材料属性对该独特谐振模式及其频移的影响，以及串联...
作者：陈光焱 吴嘉丽 赵龙 王超 刊期：2009年第06期
低g值惯性开关是一种对线加速度敏感并在施加的加速度作用下完成闭合的惯性装置。由于微小尺寸的限制，低g值（1-30g）惯性开关只能设计为微质量块和低刚度支撑梁的结构。为了获得低刚度，设计了基于阿基米德螺旋线的平面螺旋梁结构。微开关由一个带触点的基座、一个惯性敏感单元以及框架和封盖组成。惯性敏感单元则由一个居中的质量块和支撑它...
作者：张杨键 伞海生 刊期：2009年第06期
介绍了一种结合了压电式能量采集与静电式能量采集原理的复合式振动能量采集器。其结构通过有限元分析软件的优化设计，得到了期望的低频共振频率。为了预测这个复合式振动能量采集器的性能，建立了解析模型，在此基础上使用MATLAB／SIMULINK进行了数值模拟。模拟结果显示，在某些特定的频率范围内，这种复合式振动能量采集器能够提供比其他两种...
作者：明平美 朱荻 周锋 胡洋洋 曾永彬 刊期：2009年第06期
高开孔率、大厚度金属精细网板的制造是网板业界的技术难题。分析了现有的精细金属网板制造工艺的优缺点，并提出采用基于SU-8光刻胶的UV—LIGA技术来制备高开孔率大厚度精细金属网板的工艺思路。优选了关键工艺环节的操作参数，表征了试样的形貌特点，检测并分析了试样的相关性能。结果显示，采用优化的工艺条件（前烘65℃／20min，95℃／20min...
作者：徐晨 戴天明 宋义超 李晓波 邓琛 刊期：2009年第06期
由MEMS技术制备的持气审温红外探测器的噪声主要包括温度噪声、机械热噪声和背景噪声。从理论上建立了器件的基本热模型，推导得到器件的等效热熔和等效热导分别为8．1μJ／K和1．0×10^3W／K，温度噪声约为1．73×10^-10W／Hz^1/2；通过器件的工作机理和能量均分原理，推导得到热机械噪声的等效噪声功率约为9．96×10^-9W／Hz^1/2，器件的背景噪声...
作者：陈国炜 朱荣 刊期：2009年第06期
设计制作了一种基于氧化锌纳米线的谐振式硅加速度计，该加速度计的敏感单元为由氧化锌纳米线横跨金属微电极组成的谐振器。采用介电电泳的方法组装了氧化锌纳米线，并利用FIB沉积Pt将氧化锌纳米线固定在微结构上以确保结构的可靠性。在加速度的作用下，质量块引起的惯性力通过支撑梁对纳米线施加应力，因此，在谐振条件下，纳米线谐振频率的变...
作者：王玮 李德胜 高宗余 周卫 张鹏飞 刊期：2009年第06期
提出了一种基于微加速度传感器与微角速度传感器的空间笔迹检测系统，并对轨迹检测系统的算法进行了描述。手写动态采集系统使用安装于手写笔上的加速度传感器和角速度传感器采集手写笔的动态信息，通过A／D转换将得到的数据由串行通信接口传送至计算机进行处理。该系统呵用于检测手写笔在三维空间的运动轨迹，并通过三维空间的姿态角变换矩阵将...
作者：朱学林 王翔 褚家如 刊期：2009年第06期
考察了over-plating工艺中不同线距、线宽条件下的电沉积规律。利用数值模拟方法对图形结构轮廓和电沉积速度之间的相互影响进行了分析，同时采用变网格方法来适应电沉积过程中结构轮廓的不断变化。数值模拟结果表明：当线距／线宽较大（〉12）时，相邻图形的电沉积速度受到的影响很小，图形的横向和纵向的电沉积速度逐渐趋于一致；而当线距／线...
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