杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
作者：宁永强 刊期：2005年第03期
半导体激光器体积小、效率高，在信息、医疗、工业、军事等领域得到广泛应用。作为半导体激光器家族中的一员，垂直腔面发射激光器结构与普通边发射半导体激光器不同，其谐振腔是通过外延生长而成的两个高反射镜，激光沿垂直表面方向出射。垂直腔面发射激光器具有圆形对称光束、发散角小、光束质量好、阈值低、可二维集成等优点。由于谐振腔在波...
作者：何春凤; 路国光; 单肖楠; 秦莉; 晏长岭; 宁永强; 李特; 孙艳芳; 王立军 刊期：2005年第03期
利用周期谐振增益结构设计了以InGaAs/GaAsP/AlGaAs为有源区的980 nm二极管泵浦垂直外腔面发射半导体激光器.根据理论模型计算了纵模限制因子、阈值增益、光增益、输出功率等特征参数,优化了激光器特征参数并设计了OPS-VECSEL2结构.理论计算表明,LD泵浦的垂直外腔面发射激光器的输出功率可大于1.0 W.
作者：马莹; 王成; 缪同群 刊期：2005年第03期
980 nm垂直腔面发射激光器(VCSEL)采用直接倍频和在复合腔中倍频两种方式实现了490 nm蓝光输出.整形采用0.23p@980nm的自聚焦透镜(GRIN lens),倍频晶体选择非线性系数相对较大、允许角相对较宽的LBO晶体.在VCSEL输出功率为530 mW时,选取透过波长为980 nm、长度为0.23 pitch的自聚焦透镜整形,倍频晶体选择2 mm×2 mm×5 mm的LBO晶体,输出了50μW的49...
作者：吕彦飞; 檀慧明; 钱龙生 刊期：2005年第03期
给出了一种复合腔结构和频激光器,用2台激光二极管阵列(LDA)经过光纤耦合分别单独端面抽运Nd:YVO4和Nd:YAG晶体,其中Nd:YVO4和Nd:YAG晶体所选择的能级跃迁分别为4F3/2-4I11/2和4F3/2-4I13/2,其对应激光跃迁波长分别为1 064 nm和1 319 nm,两基频激光束分别在两个子谐振腔中振荡,在其交叠区利用KTP Ⅱ类临界相位匹配(CPM)进行腔内和频,获得了589 n...
作者：刘成有; 宁丹; B.P.Zhang; Y.Segawa 刊期：2005年第03期
利用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术在蓝宝石衬底上生长一层高质量的ZnO薄膜.为了考察沉积温度对样品的非线性特性的影响,在200～500℃生长了一系列ZnO薄膜.用X射线衍射谱(XRD)及扫描电镜(SEM)对样品结构进行了评价.以Nd:YAG激光器输出的1.06μm的激光为基频光,对ZnO薄膜样品的二阶及三阶非线性光学特性进行了实验研究.实验发现,对于250℃沉积...
作者：齐立红; 李忠芳; 尼启良; 陈波 刊期：2005年第03期
实验以水为靶材,Nd:YAG激光器为照射激光构成激光等离子体光源,产生软X射线-极紫外辐射.利用McPHERSON 247型掠入射软X射线-真空紫外单色仪、AXUV100硅光电二极管,测量了11～20 nm波段水靶激光等离子体光源的光谱.实验表明,在11～20 nm波段水靶激光等离子体光源存在多条线谱,均由水中氧离子电子跃迁产生.所用单色仪光谱分辨率△λ≤0.075 nm,波长...
作者：程光明; 李鹏; 杨志刚; 鄂世举; 刘建芳 刊期：2005年第03期
设计了一种利用压电双晶片驱动器代替传统双喷嘴电液伺服阀力矩马达驱动部分的新型电液伺服阀,以期改善现有该型阀的动、静态特性.通过试验得出,设计的压电双晶片驱动器输出位移为82.5μm,全量程位移波动小于0.7μm,谐振频率1.2 kHz,完全满足双喷嘴电液伺服阀对驱动器的要求.试验表明:基于此驱动器的电液伺服阀在频率低于100 Hz的范围内具有良好的...
作者：刘建芳 刊期：2005年第03期
当某些各向异性的晶体材料承受外部的机械力作用时，其相应的表面会出现电荷，这一现象称为压电效应。反之当这种晶体置于电场下时，晶体会出现几何变形，这被称为逆压电效应。具有压电效应的材料称为压电材料。钛酸钡陶瓷的发现促进了压电材料的发展，它不但使压电材料从压电单晶发展到压电陶瓷等多晶材料，而且压电性能有了大幅度提高。压电材...
作者：吴建华; 褚家如 刊期：2005年第03期
报道了一种利用压电陶瓷双晶片驱动的适用于尺寸在20～200μm之间微器件装配操作的微操作器.夹持臂尖端直径约15 μm,在80 V的电压驱动下闭合约200μm的距离.通过理想操作模型分析了微器件释放的位置误差来源和提高微器件释放位置精度的方法,并进行了高分子小球的排列和释放实验.在相对湿度50%的环境下对直径约170μm的高分子小球的操纵中,实现了2μm...
作者：刘国嵩; 赵宏伟; 曾平; 程光明; 杨志刚 刊期：2005年第03期
以压电叠堆为驱动元件,设计了新型的步进型精密直线驱动器.驱动器由于设计了独特的双侧对称箝位结构,可以利用精调斜块准确调整箝位面与动子的配合间隙,同时采用整体加工的柔性结构,保证了工作的稳定性和准确性.应用有限元分析方法对步进型精密直线驱动器进行了力学分析,并进行了大量的试验研究.试验测试结果表明:驱动器的分辨率达到40 nm、行程...
作者：张宏壮; 曾平; 华顺明; 程光明; 杨志刚 刊期：2005年第03期
研制了一种以自由端带有集中质量的悬臂式压电双晶片为驱动单元的新型惯性冲击式旋转精密驱动器.对自由端带有集中质量的悬臂式压电双晶片的动态特性进行了有限元法和实验分析,提出了压电双晶片型惯性冲击式精密驱动器特定的定频调压驱动方法.对压电双晶片型惯性冲击式旋转精密驱动器进行了性能测试,驱动器旋转行程为180°、旋转步长分辨力为1μra...
作者：赵宏伟; 刘建芳; 华顺明; 刘国嵩; 程光明; 吴博达 刊期：2005年第03期
提出了一种将压电叠堆驱动元件应用到精密旋转驱动器上的研究方案.在对驱动器机械结构及旋转运动工作原理进行分析的基础上,建立了以压电叠堆为驱动元件的旋转驱动数学模型,采用有限元分析软件对机械结构进行了分析,并从旋转运动分辨率、运动稳定性等方面对所设计加工的样机进行了实验研究.实验结果表明设计的结构具有分辨率高、行程大和运行稳...
作者：曾平; 程光明; 刘九龙; 孙晓锋; 赵艳龙 刊期：2005年第03期
实验研究了理论所不能解释的多种因素对双腔压电泵输出流量的影响规律.选取了一种高效的橡胶薄膜阀片,设计并制作了具有较高输出能力的双腔泵样机.120 V交流信号下,双腔串联压电泵最佳工作频率为180 Hz,输出参数为520 ml/min、22 kPa;双腔并联压电泵最佳工作频率为420 Hz,输出参数为980 ml/min、28 kPa.通过实验确定了双腔压电泵的最佳腔体高度...
作者：杨树臣; 程光明; 刘国君; 刘建芳 刊期：2005年第03期
提出了一种整机采用迭片式结构,单向阀采用悬臂梁式薄片阀的新结构微型压电泵,设计、制作了实验用样机泵,设计了正弦信号发生器电路,将产生的正弦信号经过电压放大和功率放大后,作为该泵的电源驱动,通过对该泵的工作性能进行较为系统的实验测试和研究,提出了利用多腔体串联结构提高压电泵性能的优化设计方案.实验测试表明,该泵工作性能稳定(样机...
作者：曲建俊; 程显敏; 罗云霞; 于佳庆 刊期：2005年第03期
研究了超声波马达在非常状态下的驱动行为,选取了5种工程塑料作为转子摩擦材料,利用真空试验机和自制的与其相匹配的超声波马达模拟试验台,采用对比试验方法,研究了接触预紧力、真空度和环境温度等对行波型超声波马达的驱动特性的影响.结果表明,随着预紧力和真空度的增加,马达的堵转力矩增加而空载转速下降;随着环境温度的增加马达的空载转速下...
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