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机载光电跟踪测量设备的目标定位误差分析

作者：王家骐; 金光; 颜昌翔 刊期：2005年第02期

光电跟踪和测量设备用于测量飞行器在空中的飞行轨迹,作为飞行器飞行性能的评价.随着现代技术的发展,对飞行器性能提出愈来愈高的要求,从而也对跟踪和测量飞行器飞行轨迹的光电跟踪和测量设备提出了相应的技术进步要求,特别是对其测量精度指标.如何做好和完善误差分析、误差分配和误差综合,成为研制更高性能的光电跟踪测量设备总体设计中的一个...

《微机电系统（MEMS）》专题文章导读

作者：吴一辉 刊期：2005年第02期

回顾近30年的科学发展史可以看出，发展最快、微小型化最成功的是电子器件。相比之下，非电子器件小型化的速度要慢得多。早在1959年物理学家Richard Feynman就提出了“There’s plenty of room at the bottom．”的观点，1982年Petersen K．E．在IEEE会议上发表了“Silicon as Mechanical Material”一文，

MEMS固体化学推进器设计与建模研究

作者：YOU; Zheng; 张高飞; 林杨; 任大海 刊期：2005年第02期

研制了一种基于MEMS(微机电系统)技术的固体化学微推进器.给出了推进器的结构设计、工艺流程,以及推进剂加注方法.建立了推进器点火过程热传导模型,利用该模型分析了不同因素对点火延迟时间的影响.同时,通过建立推进器性能模型,进行了推进单元推力和冲量的预测,给出了仿真结果.结果表明:减小点火电阻衬底材料的密度、热导率和比热可以减小点火延...

电磁式微流体动态混合器的动力学数值模拟

作者：李淑娴; 吴一辉; 宣明 刊期：2005年第02期

从提高电磁式聚合物膜微流体动态混合器的混合性能出发,利用结构动力学理论对聚合物膜进行数值模拟,给出了其模态及谐响应分析结果;然后将其数值模拟结果耦合在流体动力学数值模型上,利用计算流体动力学理论对微腔内液体的流动特性进行了分析,得出低阶振动模式下的Re.对以数值模拟为依据制造的混合器进行了水与红墨水的混合试验.仿真与试验获得...

两侧下拉电极MEMS压控电容的分析和优化

作者：刘泽文; 韦嘉; 王昱; 方杰; 刘理天; 李志坚 刊期：2005年第02期

基于能量法对两侧下拉电极控制(SPEC)的MEMS(微机电系统)压控电容进行了分析和优化.使用数值迭代方法计算了压控电容可动极板的挠度试解函数,得到了试解函数形状在不同驱动电压下的曲线.计算结果与有限元仿真所得结果一致.在此基础上,给出了基于铝材料的两侧下拉电极MEMS压控电容的优化过程,得到了优化结果.对于初始应力5 MPa,杨式模量70 GPa,极...

一种可直接脉冲调制的MEMS红外激发源

作者：纪新明; 吴飞蝶; 王建业; 周嘉; 谢海芬; 黄宜平 刊期：2005年第02期

针对红外气体探测器对光源的要求,结合现有MEMS(微机电系统)工艺及与其兼容的IC工艺,研制了一种可用于红外多气体传感器的脉冲式MEMS辐射光源.该光源主要有Si3N4/SiO2的复合支撑层和铂金发热电极组成,可以产生相当于黑体300～800 K的红外辐射,在温度T＝1 106 K时有λ=2.62 μm峰值辐射波长;并且光源有足够强的辐射强度和2～15 μm红外辐射波段,能够...

微流控分析芯片在线尿中蛋白及LDH同工酶检测

作者：金庆辉; 庄贵生; 刘菁; 贾春平; 王惠民; 赵建龙 刊期：2005年第02期

利用MEMS(微机电系统)标准光刻、湿法腐蚀以及低温键合技术制作了微流控分析芯片.在自制的紫外吸收微芯片生化分析仪上,利用该芯片对临床妊娠高血压和多发性骨髓瘤患者的尿液样本进行了在线芯片电泳分析,得到了与医院常规诊断方法一致的诊断结果,而此法进行一次分析仅需要2 min,且试剂消耗量少,这是常规方法不能比拟的.也以LDH同工酶标准品为分...

高阻硅上RF-MEMS共面波导设计及测量研究

作者：刘泽文; 宣云; 雷啸锋; 李志坚; 刘理天 刊期：2005年第02期

设计并实现了基于高阻硅RF-MEMS(射频-微机电系统)共面波导传输线(CWP), 并测量和分析了不同偏压下的特征阻抗值.利用部分电容法和保角变换法得到的分析公式确定了特征阻抗为50 Ω的共面波导的几何结构尺寸,采用MEMS准平面加工工艺在高阻硅衬底上实现了2.5 μm厚的金共面波导结构.在施加不同直流偏压的情况下对所设计的共面波导进行了S参数测量.计...

非接触压电微马达的仿真与实验研究

作者：杨斌; 刘景全; 陈迪; 周广华; 蔡炳初 刊期：2005年第02期

提出了一种基于四区和八区2种激振方式的新型非接触压电微马达,并进行了振动模态的有限元数值模拟.利用ANSYS有限元软件对定子进行模态分析,并用激光测振仪对四区和八区2种激振方式下的定子进行位移扫频和振型测试,得出:最优驱动频率分别为34.4 kHz和46.3 kHz,相应的模态分别为B21和B22,二者结果吻合较好.对微马达的输出性能进行了实验研究,结果...

一种宏微双重驱动精密定位机构的建模与控制

作者：节德刚; 刘延杰; 孙立宁; 孙绍云; 蔡鹤皋 刊期：2005年第02期

提出一种宏微双重驱动精密定位机构,采用高性能直线电机直接驱动宏动平台,实现系统大行程微米级精度定位;安装在宏动平台上的压电陶瓷驱动微动平台,实现纳米级的分辨率和定位精度,以高频响动态补偿系统的定位误差;采用精密光栅尺反馈微动平台输出端的位置信号,实现定位机构的全闭环反馈控制.在分别建立宏动、微动、宏微机构模型的基础上,提出复...

非开挖地下管线探测中的弯曲变形检测装置研究

作者：钱晋武; 孙流川; 沈林勇; 章亚男 刊期：2005年第02期

提出了一种新型的利用光纤光栅传感器进行管线弯曲变形检测的方法.将两根布拉格光纤光栅成90°粘贴在一种细径弹性基材上,形成直径5 mm的弯曲变形测量传感器.然后将传感器封装在特殊的定心机构里面,初步解决了传感器检测过程中的定心和卸载问题.通过标定,得到两根布拉格光纤光栅中心波长变化值与传感器弯曲曲率的比例系数分别为524.0 733和485.7 ...

线列光纤传像束的调制传递函数评价方法及检测

作者：王慧; 向阳; 禹秉熙 刊期：2005年第02期

根据调制传递函数对比度定义,推导了分析线列光纤传像束调制传递函数(MTF)的数理关系,采用数值计算的方式,分析了线列光纤传像束像元与输入信号之间的位相关系对调制传递函数的影响,并进行了实验研究.结果表明,输入信号与线列光纤传像束的位相匹配对调制传递函数有一定的影响.基于对数值分析结果的考虑,提出线列光纤传像束的调制传递函数及评价...

光学拼接镜面微位移主动调节机构的设计和实测

作者：杨德华; 戚永军; 朱振东; 姜方华; 陈昆新; 张如 刊期：2005年第02期

设计和制造了一套微位移主动调节机构和支撑系统,用以实现拼接镜面天文光学望远镜的每块平面子镜精密地调节倾斜和轴向平移,并在典型的仰角工况下对该机构进行了实测.设计技术要求子镜主动调节行程须达±1 mm,同时分辨率须达50 nm以下.选用了工作行程为6 mm和分辨率为50 nm的位移促动器,并引入杠杆机构提高位移分辨率和抑制误差;采用平衡配重和预...

中国仪器仪表学会2005年第五届精密工程学术研讨会征文通知（第一轮）

刊期：2005年第02期

一种中小口径非球面元件数控抛光技术

作者：薛栋林; 张忠玉; 张学军 刊期：2005年第02期

基于自主设计研制的FSGJ-3型非球面数控加工中心,针对口径φ108 mm凸非球面透镜(曲率半径R＝318 mm,k=-3),研究了非球面粗抛光工艺、精抛光工艺、抛光设备、磨料以及相关工艺参数,提出了规范的中小口径非球面加工的工艺方法和新型轮式抛光技术,实现了中小口径非球面元件的数控快速精密铣磨成型,且保证了光学零件具有较高的面形精度.抛光后元件面...