杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
杂志简介：《光学精密工程》杂志经新闻出版总署批准，自1959年创刊，国内刊号为22-1198/TH，是一本综合性较强的工业期刊。该刊是一份月刊，致力于发表工业领域的高质量原创研究成果、综述及快报。主要栏目：现代应用光学、微纳技术与精密机械、信息科学
作者：张卫平; 陈文元; 吴校生; 赵小林; 崔峰; 黄晓刚; 刘武 刊期：2004年第Z1期
磁悬浮转子微陀螺利用电磁涡流实现微转子的悬浮支撑和高速旋转,是一种精度可达惯性级的新颖MEMS(Micro Electronic Mechanical System)陀螺.讨论和研究了这种新颖微陀螺的悬浮支撑、高速转动、位置检测及加矩稳定的原理,并给出了相应的微转子、定子悬浮线圈、旋转线圈、稳定线圈、传感电极的设计原则和方法.设计了一个转子直径2 200μm、厚度25 ...
作者：廖宁波; 杨平 刊期：2004年第Z1期
微机电系统(MEMS)的尺度深入到微-纳米量级时,表面力与体积力相比成为起主导作用的力,其黏着效应与表面效应渐成主导的或不可忽略的机制.分子动力学模拟的日趋成熟,使人们有可能研究一种最单纯的摩擦状态,即"界面摩擦",它是指把负荷引起的塑性变形、黏着和粗糙度的影响抑制到最低限度,实现原子级光滑表面的分子接触时的摩擦状态.对不同材料的界...
作者：冯亮; 阙昊; 钱晋武; 陈皞 刊期：2004年第Z1期
基于网络控制的机器人系统是机器人发展的重要方向之一,描述了基于网络控制的内窥诊疗机器人系统的体系结构,组成模块及其功能,在此基础上研究了在考虑到网络时延的条件下的内窥诊疗机器人的控制方式,介绍了网络通信程序的架构形式,以及网络通信中的通信数据的结构协议.本研究的初步探索是智能内窥机器人系统实现远程诊疗的基础.
作者：潘武; 李应良; 赵伟; 张昱; 陈艳 刊期：2004年第Z1期
研究了微尺度条件下射频微机械系统中平行微带谐振器件的相关效应.对该谐振器的表面粗糙度、导热率、电学尺度等因数引起的微尺度效应进行了分析,得出该结构相关微尺度条件下相关物理量的微尺度规律.在微尺度表面粗糙度条件下,对平行微机械微带结构谐振/滤波器的性能做出了分析,得出该器件在电磁、机械、几何等微尺度量影响下的一些性能指标,为...
作者：丁延卫; 尤政 刊期：2004年第Z1期
现代微小卫星是当前航天技术发展的重要方向之一,受到航天、军事、工业以及科研部门的普遍关注.热控制分系统的功能是为星上仪器设备提供合适的温度环境,保证它们的正常工作.介绍现代微小卫星的发展及其关键技术,探讨微小卫星热控制的必要性和微小卫星的热性能特点,分析微小卫星热控制技术的发展态势.微小卫星的热控制分系统不能忽视或者简化,应...
作者：段瑞玲; 李庆祥; 李玉和 刊期：2004年第Z1期
微机械电子技术的快速发展及其系统结构的日趋复杂,促进了微机电系统中微装配技术的日益蓬勃发展.因此对微装配和微操作的研究日益引起国内外研究人员的重视.详细地综述了近年来微装配技术的国内外发展现状以及其发展过程中面临的一些关键技术,包括微装配机理、显微视觉技术、微夹持器、微驱动技术等,最后对微装配的发展进行了展望.
作者：邓晓蓓; 王向军 刊期：2004年第Z1期
本文的主要内容包括:(1)简要介绍了硅微型陀螺仪的分类及其基本工作原理,包括硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪、振动轮式微机械陀螺仪、硅微型框架驱动式陀螺仪.(2)详细介绍了以微陀螺为核心的微型惯性测量系统的组成,在应用中的关键技术,主要问题及解决途径,并展望了微型惯性测量系统的发展前景.(3)提出了利用MEMS综合微加工方法实现的非全硅微陀...
作者：巫正中; 钟先信; 李晓毅; 余 刊期：2004年第Z1期
近年来,随着光通信突飞猛进的发展,推动了微光机电系统(MOEMS)的发展.MOEMS是将电子、光学和机械器件集成在一起的微型组件或系统,可采用集成电路(IC)工艺进行批量生产,其尺寸在微米至毫米范围之间.这种系统可在微域内实现自动控制、检测、执行任务,并在宏观上实现特定的功能.本文从MOEMS器件的制作工艺、设计及应用等方面作了探讨,对其前景作了...
作者：徐道连; 钟先信; 巫正中; 陈文涛; 李晓毅 刊期：2004年第Z1期
在传统的声信号检测中,声电转换由传声器完成,滤波由专用电子滤波器完成.近年来,随着硅微机电系统(MEMS)技术的发展,已经开始把该技术用于微传声器的制造.在研究了当前几种硅微机械传声器的基础上,提出了一种全新的微机械阵列传声器,该装置在转换信号的同时实现滤波,并进一步讨论了阻尼和硅簧片根数对滤波特性的影响,阻尼的增加会降低该滤波器的...
作者：饶程; 杨清林; 袁祥辉 刊期：2004年第Z1期
双层类脂膜(Bilayer Lipid Membrane,BLM)作为生物膜的基本结构模型已被广泛的接受,双分子层结构使双层类脂膜的厚度不到10 nm.介绍了纳米结构双层类脂膜的实验进展及电学特性,阐述了双层类脂膜在生物化学传感器中的应用,并展望了发展前景.
作者：潘武; 陈艳; 李应良 刊期：2004年第Z1期
设计了一种具有高品质因数和小尺寸的12.12 GHz的新颖复合腔结构的微机械谐振器,获得了相关测试数据.将高介电常数材料填入微机械复合腔结构,解决限制高Q值的介质损耗问题.谐振腔的馈电通过具有2个特征阻抗为50Ω的微带线与耦合缝实现,通过优化耦合缝位置和微带线参数,提出有利于微小结构的馈电解决方案.利用AnsoftHFSS软件对谐振器的电磁特性参...
作者：王雷; 韩双丽; 王立国; 卢锷; 母德强 刊期：2004年第Z1期
对于采用双层玻璃的光学透镜,在压力的作用下,会引起面形的变化和双折射现象,产生波前畸变,降低成像质量.通过试验和计算机仿真,分析了光学透镜玻璃所受压力和波前差(WFM)之间的关系.对不同厚度下压力引起的波像差进行分析,提出了在保证安全性和可靠性的前提下减小光学元件的厚度以减轻重量的建议.
作者：李玉和; 李庆祥; 郭阳宽; 李晟 刊期：2004年第Z1期
高密度母盘刻录是数据存储中的关键技术.对母盘刻录系统的工作原理、结构组成及控制方法进行了分析研究,提出了基于DSP中央处理器和CPLD逻辑单元为中心的下位机式刻录控制方法,完成了模型建立、参数优化、硬件设计与仿真,并进行了系统特性实验.结果表明,精密系统定位精度为50 nm,亚微米级扰动消除时间＜10 ms;运动运行稳定,基本满足刻录系统性能...
作者：熊先才; 钟先信; 高洁; 肖沙里; 杨国洪 刊期：2004年第Z1期
根据椭圆几何光学和X射线晶体的布拉格衍射原理,进行了弯晶谱仪的光学设计.设计的椭圆离心率和焦距分别是0.958 6 mm和1 350 mm,椭圆的弧长是125.64 mm,光路的光程为1 443.30 mm;布拉格衍射角为30～67.5°,谱线探测角为55.4～134°;柱面镜的掠入射角为3.7°,半径为10 127 mm;谱线探测器的阴极面中心到狭缝的距离是35 mm.利用LiF、PET、MiCa和KAP晶...
作者：张凤生; 杨杰; 叶军 刊期：2004年第Z1期
本文基于柔性铰链原理,设计了由两个并列的四边形柔性铰链构成的狭缝机构.该机构的特点是内摩擦小、运动灵敏、位移精度高.而且,两个四边形柔性铰链可在同一块弹性材料板上加工而成,易于实现高精度的制造.由单片机、步进电机、螺旋副、圆锥顶杆和光栅副构成的闭环系统实现了狭缝宽度的自动调节.尤其是光栅副的主光栅和指示光栅分别直接安装于两...
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