首页 期刊 光学精密工程 多层金属/介质膜系中Al层的作用分析 【正文】

多层金属/介质膜系中Al层的作用分析

作者:魏军明; 吴永刚; 顾牡; 顾春时; 马晓辉; 王利; 林小燕; 陈玲燕 同济大学; 波耳固体物理研究所; 上海; 200092; 同济大学; 精密光学工程技术研究所; 上海; 200092; 同济大学; 波耳固体物理研究所; 上海; 200092
多层膜   金属薄膜   介质薄膜   baf2闪烁晶体   铝层  

摘要:设计了一维金属/介质多层膜系,膜系由几个周期的高折射率(Al2O3)/低折射率(MgF2)材料所组成.在低折射率材料中插入金属层(Al),对膜系进行了优化,利用电子束蒸发方法制备了该膜系.实验表明,不仅Al层的总厚度直接影响透射谱的形状,在同样Al层总厚度情况下,Al层厚度分布对膜系也有影响.寻找到了最佳Al层分布结果,并通过了实验验证,制备出了能很好抑止BaF2晶体发射光谱的长波成分的膜系.

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