摘要：提出了一种新型柔性微带天线的制备技术。首先用电磁仿真软件ANSYS HFSS对天线的结构进行仿真及优化,设计了一款共面波导馈电的微带天线。然后基于微机械工艺对天线进行加工制备,将预拉伸的聚二甲基硅氧烷(Polydimethylsiloxane,PDMS)经过氧等离子处理并释放后,在松弛的PDMS表面上溅射一层金属铜,可形成褶皱的金属薄膜。最后对该柔性天线进行电性能及机械性能的联合测试,测试结果与仿真结果基本相同,中心频率在7.55 GHz附近,弯曲度可达360°,拉伸度可达50%,弯曲和拉伸对天线的性能没有影响,性能良好。

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