摘要：提出了一种高对称电容式微加速度传感器，该传感器为硅四层键合三明治结构，在完成传感器整体结构制作的同时，实现了圆片级真空封装。利用多次氧化的方法，既精确控制了加速度传感器的初始电容间距，又实现了限位凸点的制作。该加速度传感器的谐振频率为657Hz，品质因子为198，灵敏度为0．59V/g。

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