摘要：<正>马颂德副部长考察集成电路刻蚀机与注入机重大项目进展情况5月9日,科技部马颂德副部长考察了863计划先进制造与自动化领域超大规模集成电路制造装备重大专项中的刻蚀机与注入机重大项目的进展情况。开展集成电路刻蚀机与注入机重大项目研究工作是我国在研制开发高水平的集成电路核心工艺与装备方面的重要举措,对推动我国集成电路产业的发展将发挥重要作用。该重大项目在组织管理方面实行北京市有关关部门组织领导下的业主负责制,启动一年多来已取得了明显进展。此次项目进展情况汇报表明,目前业主单位已完成了刻蚀机和注入机的原理样机的全部设计工作,有信心、有能力全面完成项目的预定任务和目标。

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