摘要：介绍了一种以弹性导轨为支承的平面三自由度微动工作台的原理、结构、设计计算方法及闭环控制的基本原理.采用电致伸缩微位移器驱动弹性导轨,电涡流传感器测量工作台的微位移,能可靠地保证微动工作台的运动精度,并使其结构简单、紧凑.

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