摘要：采用结合双温模型的分子动力学方法,研究了典型脉宽飞秒脉冲激光与镍钛二元形状记忆合金相互作用时能量密度对靶材烧蚀深度的影响。模拟了脉宽为100 fs,能量密度为0-125 mJ/cm^2的单脉冲激光辐照90 nm厚镍钛合金薄膜的过程。模拟结果表明,飞秒单脉冲激光烧蚀镍钛二元形状记忆合金会产生两种不同的烧蚀相。能量密度较低时,烧蚀结果呈现弱烧蚀相,烧蚀深度较低,并且与光学穿透深度相关;能量密度较高时,烧蚀结果呈现强烧蚀相,烧蚀深度大幅度增大。采用＂拼花法＂对高斯飞秒脉冲激光辐照镍钛靶材的形貌进行预测,发现使用能量密度为阈值附近的飞秒激光辐照靶材时,能够获得底部较为平坦的烧蚀弹坑。

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