摘要：为了进一步拓展时栅位移传感器的应用范围,在传统场式时栅位移传感器测角系统的基础上,提出一种两相驱动型时栅位移传感器测角系统。该系统以低分辨率、低成本的圆光栅和直接数字频率合成器构成一种新的'时间行波',结合传统时栅位移传感器的处理技术,构成一个新的测角系统。对该测角系统的误差模型进行研究。实验结果表明:该测角系统的主要误差成分为光栅信号的不正交、不等幅与残余直流电平3项误差源,通过该误差模型可以有效地减小时栅位移传感器的原始误差,提高测角系统的测量精度,精度达到±3.2″。

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