摘要：采用Al靶微聚焦单色器光电子能谱仪进行XPS测试时，如果样品高度选择不好，会导致测得的光电子峰强度降低．而对于一些电子结合能较高的元素，其光电子峰会变宽，有时出现双峰．分析了该现象的原因是X射线光斑、电子中和枪中和区域以及光电子能量接收区域没有聚焦于同一点．

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